디이엔티(079810)

5년간 120억 투입 ... 정부, 기업 공동 기술개발 나서

4세대 AM OLED 적용 1차 목표로

'대면적 고해상도 노광기용 나노급 요소기술개발'이라는 과제로 진행되는 이번 프로젝트에는

디이엔티(DE&T), 오에프티(OFT), 유스텍이 세부주관기업으로,

서울대,한양대,서울산업대가 위탁개발대학으로 각각 참여한다

뉴스)

노광기 국산화 프로젝트 `스타트` 5년간 120억 투입…정부ㆍ기업 공동 기술개발 나서 디스플레이 산업의 4대 핵심 장비이면서 아직 미개척지로 남아 있던 노광기 국산화 프로젝트가 첫 스타트를 끊었다. 노광기는 장치산업인 반도체나 LCD 제조에 있어서 가장 핵심적인 장비로 대당 가격이 수십억∼수백억의 고가장비이나 현재 일본과 네덜란드 업체 등 일부에서만 생산하는 고난이도의 장비다. 업계는 그동안 국내 장비업체들이 에처(식각), 코터, 증착 장비 등 4대 핵심장비 중 3가지는 국산화에 성공했으나 노광기 개발은 요원한 일로 여겨져온 현실을 감안할 때 이번 국산화 프로젝트는 남다른 의미를 갖는다고 평가했다.

7일 산업자원부 등에 따르면 정부와 기업이 공동으로 이 달부터 2011년까지 5년간 120억원의 개발비를 투자해 디스플레이 노광기에 들어가는 조명광학계와 레티클(회로 패턴을 증착시킬 때 쓰는 원판) 시스템, 시스템 통합(조립 및 측정) 기술 등 노광기(Stepper) 기술 개발에 나선다.

반도체 부문의 노광기 공동 개발 프로젝트는 10여년 전에 진행하다가 중단된 적은 있지만, 디스플레이 노광기 부문의 핵심기술 개발에 정부와 업계가 힘을 모은 것은 이번이 처음이다.

산자부 반도체디스플레이팀 관계자는 "노광기는 그 어느 장비보다 개발이 어려운 분야로 전세계적으로도 몇 개 기업만이 할 수 있는 것이다"며 "디스플레이 노광기 국산화를 위해 부분적 접근 방식으로 노광기에 필요한 4가지 핵심 요소기술 개발을 시작하게 됐다"고 말했다.

이 관계자는 이번 요소기술 개발 프로젝트는 디스플레이 핵심장비인 노광기 개발을 위한 첫걸음을 내디뎠다는 데 의의가 크다며, 단숨에 8세대 LCD 어레이용 노광기를 개발할 수는 없겠지만 요소기술 개발을 통해 4세대 AM OLED 등에 적용할 수 있는 수준까지 기초기술을 다진다는 목적이 있다고 말했다.

`대면적 고해상도 노광기용 나노급 요소기술 개발'이라는 과제로 진행되는 이번 프로젝트에는 디이엔티(DE&T), 오에프티(OFT), 유스텍이 세부주관기업으로, 서울대ㆍ한양대ㆍ서울산업대가 위탁개발대학으로 각각 참여한다.

디스플레이성장동력산업단 내 사업으로 진행되는 이 프로젝트에는 매년 정부가 18억원, 기업이 6억원 등 연간 총 24억원씩이 5년간 투자되며, 연구개발책임은 한양대 안진호 교수가 맡았다.

안진호 교수는 이번 프로젝트의 의미에 대해 "국내에서 자체개발이 어려운 투영광학계는 외국 선진 회사(아조레스)와의 합작을 통해 부품을 도입하지만, 해상도 1 마이크론 이하의 조명광학계와 레티클 시스템은 자체 개발해, 전체 부품의 통합을 통해 국내 최초로 스테퍼의 상용화를 추진하는 데 의미가 있다"고 말했다.

안 교수는 이 원천기술이 개발될 경우 디스플레이 생산뿐만 아니라 반도체의 패키징 공정에 사용되는 범프 형성 공정 등에도 직접적으로 응용될 수 있으며, 다른 형식의 노광기나 타 장치 등에도 응용이 가능하다고 설명했다.

일본의 `LCD제조장비데이터북'에 따르면 전세계 디스플레이 노광기 시장은 지난해 1348억엔(100엔당 800원 기준, 한화 약 1조 784억원)에서 올해 17% 늘어난 1577억엔(한화 1조 2616억원), 내년에는 19.5% 늘어난 1884억엔(한화 1조 5072억원)에 달할 전망이다.

이같은 노광기 시장의 30% 이상이 국내에서 구매하는 것이지만, 국내 기술이 없어 전량 일본의 캐논과 니콘에서 수입해오고 있는 상황이다. 이에 따라 국산기술 개발이 이루어질 경우 대당 수천만달러에 달하는 노광기의 가격인하 효과는 물론 수입대체 효과가 클 것으로 예상된다.

한편, LCD 유리기판의 TFT 어레이용 노광기(회로공정 1마이크론 수준)와는 달리, 이보다 기술 난이도가 낮은 컬러필터 공정(20∼30마이크론 수준)용 LCD 노광기는 지난 5월 LG필립스LCD가 자체 개발한 바 있다.